Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui kelayakan modul praktikum berbasis inkuiri yang akan digunakan dalam pembelajaran optika. Penggunaan modul praktikum berbasis inkuiri diharapkan dapat meningkatkan keterapilan proses sains (KPS) dan sikap ilmiah mahasiswa dalam perkuliahan optika. Metode penelitian yang digunakan adalah deskriptif untuk mengetahui kualitas atau kelayakan modul praktikum optika berbasis inkuiri, soal KPS dan angket sikap ilmiah mahasiswa. Modul praktikum dianalisis kelayakannya melalui validitas isi (content validity) oleh ahli materi dan ahli media yang masing-masing berjumlah 3 orang dari dosen prodi pendidikan fisika. Soal keterapilan proses sains berbentuk pilihan ganda dan angket sikap ilmiah selain dianalisis oleh 3 orang tim ahli (content validity) juga diuji coba kepada mahasiswa pendidikan fisika untuk mengehaui tingkat validitas (validitas empiris) dan reliabilitas instrumen. Hasil analisis validitas isi menunjukkan bahwa modul praktikum optika berbasis inkuiri, soal KPS dan angket sikap ilmiah memiliki kategori yang valid dan layak untuk digunakan dalam perkuliahan optika. Hasil analisis validitas empiris melaui uji coba menunjukkan bahwa soal KPS dan angket sikap ilmiah telah memiliki kriteria yang valid dengan tingkat reliabilitas yang sangat tinggi. Dengan demikian, modul praktikum optika berbasis inkuiri layak digunakan dalam pembelajaran untuk meningkatkan KPS dan sikap ilmiah mahasiswa dalam perkuliahan optika.